①高質量的高折射率差硅基SiOx集成光波導材料基礎薄弱。
國外生長硅基SiOx集成光波導材料的方式主要有兩種:以歐美為代表的化學氣相沉積法(PECVD),以日本、韓國為代表的火焰水解法(FHD)。
PECVD法精度較高,操控性好;FHD法生長速率快,產業(yè)化效率更高,二者各有優(yōu)缺點,而國內缺乏相關應用基礎研究;
②芯片工藝水平達不到芯片產業(yè)化要求,特別是在整張晶圓的均勻性、穩(wěn)定性方面,如二氧化硅厚膜的高深寬比和低損耗刻蝕工藝;
③在產業(yè)和市場導向上,過去偏重于買,拿市場換技術。
④此前國內研發(fā)環(huán)節(jié)較為薄弱,這就導致相當一部分高端光芯片還需要依賴進口。
⑤需要綜合掌握外延、微納加工、封裝、可靠性等多領域技術工藝,并加以整合集成,屬于技術密集型行業(yè)。
天志物聯云平臺:www.qztzdesing.com 淘寶店鋪https://r8design.taobao.com/ 閩ICP備2021005707號-2